第422章改造成功，0.1纳米精度光刻机
“开始吧。”许锋说。
苏工按下了启动键，光刻机开始运作。
首次试制持续了将近三个小时，期间没有人说话，古工和苏工各自盯着自己负责的显示屏。
运动平台的位移数据在纳米级别上跳动，曝光光源的光强曲线平稳，光学系统的成像质量监测数据每隔几秒刷新一次，每一次都在公差带以内。
许锋站在两人身后，目光从一块屏幕移到另一块屏幕。
超级大脑在后台同步处理着所有子系统的实时数据流，每一个参数的波动都在他的感知范围之内。
终于，试制结束。
测试晶圆从光刻机里退出来的时候，苏工的手在控制面板上停了一下才按下确认键。
他拿起晶圆，送进旁边的检测工位。
扫描电子显微镜对准晶圆表面的第一片曝光区域。
图像清晰之后，车间里安静了很长时间。
古工第一个开口：“线宽精度二十五纳米。达到基础版设计指标。曝光均匀性合格。重复定位精度——合格。”
苏工没说话。
他站在检测屏幕前面，把同一片区域的检测图像反复对比了三遍。
三遍之后，他在检测报告上签了字，然后把签字笔放在桌上，靠进椅背里长长地出了一口气。
“二十五纳米，跟国际上最先进的比还有差距，但作为第一台自主制造的光刻机，已经是了不起的起点了。”苏工的声音里带着疲惫，也带着一丝不易察觉的遗憾。
许锋看了一眼检测报告上的关键数据。
曝光线宽、套刻精度、缺陷密度——每一项指标都达到了基础版图纸标注的设计要求，但也仅仅是达到。
二十五纳米，在军用芯片领域够用，但要做人工智能生命体的核心处理器，这个精度远远不够。
他拿起笔在报告的最后一页签了字，心里已经在盘算另一件事。
“古工、苏工，这阵子辛苦了。今天早点休息，后续的优化方案我来想办法。”
古工摘下老花镜揉了揉眼睛，这八周他几乎没睡过一个完整的觉：
“也好，基础版跑通了，后面的路就好走了。许大队长，优化方案的事你多费心，我和苏工明天再过来。”
两人收拾了工具，关上洁净车间的主灯，脚步声沿着走廊渐渐远去。
许锋在车间门口站了一会儿，没有跟着下楼。
见所有人远去，他转过身，重新推开洁净车间的门。
许锋走到光刻机前面，伸手按在外壳上。
他打开了孤狼系统的后台。
“需要升级吗？指挥官。”
光刻机基础版样品的状态标签旁边，弹出了一个从未出现过的选项——“光刻机改造升级方案”。
选项下方的描述文字简要列出了改造升级的内容：光学系统精度从深紫外微米级提升至极紫外纳米级，精密运动平台定位精度提升一个数量级，曝光光源升级为极紫外波段，控制系统集成人工智能自适应校正算法。
兑换积分：二十万。
许锋在黑暗中站了片刻，二十万积分不是小数目，但此刻他手里的积分足够。
他看了一眼光刻机控制面板上那个“25nm”的检测记录——这个数字今天让古工和苏工满意地点了头，但在许锋心里，它只是一个起点。
后续的发展需要的处理器、激光武器的核心光学组件、天基动能拦截器的制导芯片，这些都需要更高精度的光刻机来制造。
他点击了“确认兑换”。
系统界面上立刻弹出一行提示文字：“光刻机改造升级启动。请确认光刻机处于待机状态且物理连接完整。”
许锋按照提示检查了一遍光刻机的状态，所有子系统处于待机模式，供电稳定，冷却系统正常运行。
他点击确认。
进度条没有出现，倒计时也没有出现。
取而代之的是一行简洁的文字：“改造进行中。请勿离开设备十米范围。”
许锋愣了一下。
他原本以为会像之前兑换其他方案一样，兑换完之后在系统后台慢慢等就行了。
但这一次系统明确要求他必须在设备附近守候。他看了看洁净车间里唯一一张椅子，拉过来坐下，背靠着墙，面对着光刻机。
最初的十几分钟什么动静都没有，光刻机安静地立在原地，控制面板上的指示灯照常闪烁。
然后他听到了声音。
不是机械运转的声音，而是更细微、更密集的声响——像是有无数极细小的零件在机器内部重新排列组合的底噪。
许锋站起来，走到光刻机侧面。
外壳的金属表面看不出任何变化，但当他用手掌贴上去的时候，能感觉到一种极细微的震颤从机器内部传导出来。
他往后退了一步，继续等。
改造持续了一个多小时，其间震动停了两次，每次停大约几分钟，然后又重新开始。
最后一次震动停止之后，光刻机控制面板的屏幕突然闪烁了一下，然后开始逐行刷新自检程序。
许锋走到控制面板前面，看着屏幕上的自检数据一行一行跳出来——光学系统精度校验通过，精密运动平台定位精度校验通过，曝光光源波长切换校验通过，控制系统人工智能模块加载校验通过。
屏幕上的最后一行字是：“光刻机改造升级完成。当前精度等级：0.1纳米。”
许锋低吼：
“什么⁉零点一纳米！”
许锋盯着那个数字看了很长时间。
然后他关掉控制面板，走到门口把主灯重新打开。
灯光照在那台银灰色光刻机上，机器外观和改造前几乎没有变化。
外壳还是原来的外壳，工位还是原来的工位，连控制面板的布局都和之前一模一样。
但内部的核心组件已经全部更新，极紫外光源的波长比深紫外光源短了近一个数量级，运动平台的定位精度从微米级跃升到了纳米级的极致，控制系统中还嵌入了一套人工智能自适应校正算法。
他知道这意味着什么，也知道这个数字一旦公布出去会引发什么级别的震动。
零点一纳米，这个精度已经超出了当前全球半导体行业公开报道的最高水平，而且超出的不是一星半点，是整整一代甚至两代的代差。
许锋关掉洁净车间的灯，轻轻带上门。
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