第221章 长天光学突破
大半年的时间转瞬即逝。
郑东新区，长天光学实验室地下核心实验区。
穿过三道除尘风淋室，实验室内常年保持着恒温恒湿的严苛环境。
王立国穿着厚重的全封闭防静电服，虽然隔着口罩，但依然能看出他眼底布满血丝的疲惫，以及根本按捺不住的狂喜。
在他面前的超精密减振台上，安静地放置着一个高达近一米、重达数百公斤的金属圆筒。
这并不是什么普通的金属疙瘩，而是代表着人类光学制造工业皇冠上的明珠——光刻机投影物镜系统。
“许总，我们成了。而且，比国家02专项原定的节点，还要快得多！”
王立国深吸了一口气，对着身旁同样穿着防静电服的许晨说道，声音因为过度兴奋而有些沙哑。
许晨看着眼前的金属圆筒，眼神明亮：“王院士，这就是咱们这大半年来，日夜不停加工出来的心血？具体参数走到哪一步了？”
王立国点了点头，拍了拍金属圆筒汇报道：“许总，其实国家在光刻机研发上早就布局了。按照原本的进度，国内这两年也就是勉强摸到90纳米节点的门槛，而且良品率和稳定性一言难尽。”
“但是，您弄回来的那台汉斯原厂极精密设备，加上天宇不计成本的资金砸下去，彻底打破了物理加工的瓶颈！目前摆在您面前的，是我们打磨出的国内最高水平的ArF（氟化氩）干式光刻机投影物镜系统。它的数值孔径（NA），硬生生被我们推到了0.85！”
看到随行的天宇高管面露疑惑，王立国主动用通俗易懂的话解释起来。
“各位，光刻机的工作原理，就像是我们小时候玩的幻灯片投影仪。咱们的芯片图纸就画在幻灯片上，光线穿过这几十片镜片，把庞大的图纸成比例缩小，精准地印在硅晶圆上。”
“如果说造航母是宏观工业的巅峰，那这玩意儿就是微观工业的神迹。想象一下，你要把整个帝都市的详细交通地图，一比一不差分毫地画在一粒大米上。这套物镜，就是那支用来画图的笔。”
王立国指着金属筒：“因为图纸缩得太小了，光线穿过玻璃时会发生畸变。这套NA 0.85的镜头里，每一片镜片的表面平整度误差，被我们磨到了亚纳米级别！什么概念？如果把这片镜片放大到整个地球那么大，它表面的起伏高低，连一根头发丝的厚度都不到！”
随行的高管们听得倒吸了一口凉气。
王立国继续说道：“干式光刻机的物理极限NA是0.93。咱们这套NA 0.85的镜头，已经完全能够支撑65纳米工艺节点的芯片量产！如果配合上芯片厂的多重曝光技术，它甚至能去摸一摸45纳米的门槛！这比国家原定的90纳米目标，整整跨越了一个大台阶！”
“好！太好了！”许晨拍了拍王立国的手臂，“能把NA 0.85的干式物镜做出来，这就是咱们的入场券。先把65纳米的底子夯实，下一步咱们直接加水，去搞NA 1.35的浸没式物镜，向28纳米冲刺！”
许晨转头看向身后的陈立峰：“给王院士团队的所有研发人员发奖金！从晨宇资本账户里拨五千万出来，作为这次攻克物镜系统的专项奖励！”
“我替同事们谢谢许总！”王立国也不客气，搞科研的也是人，不仅要讲情怀，更要讲真金白银。
……
许晨离开长天光学的无尘车间。
回到天宇集团总部的办公室，许晨脱下外套，喝了一口水。
晨宇资本负责人陈立峰一同进入。
当初去长春找王立国谈判，就是陈立峰带着法务部骨干一路跟进的。
许晨坐下，目光转向陈立峰，“我之前交代你的另外两件事，目前进展怎么样了？”
造光刻机，有三座大山。
光学物镜系统、超精密双工作台、核心光源。
许晨早就知道，国家在2016年其实已经出了不少成果，但很多都停留在实验室阶段，缺乏商业化量产的稳定性。
光靠一个长天光学，造不出完整的光刻机。所以在投资长春光机所后，他立刻让陈立峰带着资金，去国内寻找另外两座大山的顶尖团队。
“许总，按照您的指示，这两条线这大半年来我一直在亲自跟进。”
陈立峰打开厚厚的公文包，拿出了两份绝密的文件递给许晨，“有了天宇的资金支持，他们的研发进度同样比国家原定的计划提前了一大截。”
“首先是超精密双工作台。”陈立峰指着第一份文件，“我们找到了水木大学的朱建平教授团队。我们砸了6个亿进去，联合水木大学，成立了天卓精密控制技术有限公司。”
陈立峰翻开报告：“许总，光刻机在曝光的时候，底下承载硅片的工作台需要飞速移动。这就好比，您需要在一列时速三百公里的高铁上，不仅要用针去穿线，而且每次穿线的误差不能超过一根头发丝的万分之一。”
“更变态的是，为了提高效率，现在都是双工作台。一个台子在底下测量，另一个在上面曝光。等曝光完了，两个台子还要在极其狭小的空间里瞬间互换位置，期间不能有任何震动。”
陈立峰指着报告上的数据，语气激动：“原本朱教授团队在实验室里只有初代样机。但这大半年来，天卓精密直接搞出了商业量产级别的工程机！在高速运动下，咱们晶圆台的定位精度已经压缩到了惊人的1.5纳米！双台交接的同步延迟几乎为零，彻底打破了阿斯麦（ASML）在这项专利上的垄断！”
许晨满意地点了点头：“1.5纳米的精度，这比原计划快太多了。这台子稳，咱们的光刻机跑得就快。那激光那边呢？”
陈立峰翻开第二份文件：“光源这边，我们盯上的是中科院光电所的郑勇博士团队。联合光电所以及国内几家半导体材料企业，我们控股组建了天虹激光科技股份有限公司。”
“光刻机的光源，可以说是雕刻芯片的那把‘刀’。”陈立峰解释道，“我们不能用普通光，波长太大刻不细，必须用深紫外激光。这就好比在一粒米上刻字，必须用最细的手术刀。”
“但这把手术刀其实是个闪光灯。它需要在一秒钟内连续闪烁几千次，而且每一次释放的能量必须绝对一样，不能多一丝一毫，否则刻出来的电路就会深浅不一、导致短路。”
......
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